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美國PIE_Tergeo等離子清潔儀
產(chǎn)品詳情
Tergeo系列臺式等離子清潔儀
Tergeo系列臺式全自動等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能，可用來清潔納米級樣品，去除光刻膠，清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤，進(jìn)行煤和有機物的灰化，激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團，獲得表面親水性，提高鍵合強度和可印刷性，促進(jìn)醫(yī)療器械生物相容性?？杉山胧胶瓦h(yuǎn)程式兩種等離子源，既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿，也可清潔石墨烯、碳納米管、類金剛石碳和TEM載網(wǎng)多孔碳膜等脆弱的精細(xì)樣品。
Tergeo系列具有三種型號：
1）Tergeo 等離子清潔儀：這是一款經(jīng)濟實用的等離子清潔儀。
2）Tergeo-Plus大腔室等離子清潔儀：這是一款具有大樣品室的等離子清潔儀，可清潔寬達(dá)150mm的樣品。
3）Tergeo-EM等離子清潔儀：用于TEM樣品桿清潔以及去除SEM & TEM樣品的碳?xì)湮廴尽?/span>
儀器特點：
? Tergeo系列采用獨特設(shè)計，能在一個系統(tǒng)中支持兩種清潔模式。
Tergeo-EM標(biāo)配雙等離子源、并且具有清潔TEM樣品桿的功能；其余兩款
標(biāo)配浸入式等離子源，用于樣品表面清潔、蝕刻、灰化，可選遠(yuǎn)程式等離
子源用于溫和的污染清除及脆弱易損樣品的表面活化。
? 采用等離子體強度傳感器專有技術(shù)，實現(xiàn)實時定量測量等離子強度
? 13.56MHz射頻發(fā)生器，自動阻抗匹配調(diào)諧，雙源版本可脈沖工作
? 直觀的觸摸屏用戶界面，可儲存20條用戶程序，全自動運行
? 采用MFC(質(zhì)量流量控制器)調(diào)節(jié)的氣體輸送控制
? 高純石英樣品腔室和樣品托
推薦應(yīng)用：
? 集成電路芯片引線鍵合和封裝前的清潔
? 清潔TEM和SEM樣品，去除烴污染
? 親水性或疏水表面潤濕性等離子處理
? 增強環(huán)氧樹脂/膠水粘合強度
? 用于清潔光學(xué)、激光、通訊用玻璃和光纖頭
? 改善MEMS微流體器件的潤濕性
? 蝕刻光刻膠
? 剝除被膜，用于失效分析
? 隱形眼鏡、醫(yī)用植入物等類型醫(yī)療器械的表面處理和激活
實驗結(jié)果的一致性和可重復(fù)性對于科研和生產(chǎn)運行是至關(guān)重要的。因此，
我們集成了多種過程控制技術(shù)來監(jiān)測和控制關(guān)鍵參數(shù)，如等離子體傳感
器、壓力傳感器和氣體輸入的自動質(zhì)量流量控制器。Tergeo等離子清洗
機的操作是全自動的。直觀的用戶界面，加上7英寸的觸摸屏，使本系
列儀器的操作像智能板一樣簡單。嵌入微控制器支持20個可定制的配方
程序。Tergeo系列等離子體處理系統(tǒng)采用先進(jìn)的工藝控制技術(shù)，可為不
同用戶提供重復(fù)的日常運行性能。
Tergeo系列臺式等離子蝕刻和表面清潔系統(tǒng)可用于研究、開發(fā)等應(yīng)用。TEM用戶，請選用我們的Tergeo-EM具有清潔TEM樣品桿功能的等離子清潔儀；TEM和SEM及其它用戶也可查看EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子清潔系統(tǒng)。對于樣品桿儲存等應(yīng)用，可選用多用途樣品清潔及儲存腔室。
具有鋼結(jié)構(gòu)工程專業(yè)承包二級資質(zhì)、建筑工程施工總承包貳級資質(zhì)；公司主營產(chǎn)品包括重鋼、輕鋼、網(wǎng)架及檁條、彩鋼板等鋼結(jié)構(gòu)產(chǎn)品；近年來，公司承接了國內(nèi)外大型結(jié)構(gòu)件、橋梁、車庫、標(biāo)準(zhǔn)化廠房等具有較大影響力的一系列項目；產(chǎn)品遠(yuǎn)銷白俄羅斯、贊比亞、印尼等國家，得到了一致好評。
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